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山西净化工程 山西洁净室工程

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  • 名称:山西净化洁净室工程之食品厂制药厂山西净化洁
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  • 结构:
  • 台面:
  • 技术参数:
  • 发布日期:2017-02-25
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产品说明

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山西净化洁净室(Clean room)又称「无尘室」,在晶圆厂中俗称「Fab」,指的就是「制造厂(Fabrication)」的意思。山西净化洁净室是专门建造用来隔绝灰尘的空间,由于晶体管本身的线路非常微小,例如:0.13μm(微米)的闸极线宽,只要一颗很小的灰尘掉落到晶圆上,就会造成晶体管短路烧毁,

因此必须在非常干净的地方生产。山西净化洁净室内的景观如<图1>所示,山西净化洁净室内所有的工作人员都必须穿戴无尘衣,而且禁止使用香水及化妆品,以避免粒子污染晶圆。

      
   山西净化洁净室的要求很严格,必须满足下列生产条件:山西实验室网 www.syscgw.com

     1.内部保持大于一大气压的环境,以确保粉尘只出不进。

     2.保持温度与湿度的恒定,气流方向均由上往下为主。

     3.所有建材均不易产生静电,否则容易使晶体管烧毁。

     4.所有人员进出,都必须经过空气吹浴去尘的程序。

     5.工作人员穿戴无尘衣,除了眼睛以外均需与外界隔绝接触。

    山西净化洁净室的干净程度依照不同制程线宽,以及不同制程机台的要求分成许多等级,其定义为「每立方英尺含有大于制程线宽的灰尘数目」,如<图2>所示,称为「等级(Class)」。以十二寸晶圆「0.13μm(微米)制程」为例,定义其洁净等级如下:

 

山西净化洁净室的洁净程度等级(山西实验室网 www.syscgw.com 提供)

     >等级1(Class 1):代表「每立方英尺大于0.13μm(微米)的灰尘数目少于1个」,「等级1(Class 1)」通常是晶圆厂中最干净的地方,使用在必须很干净的制程步骤,例如:黄光微影技术。

     >等级10(Class 10):代表「每立方英尺大于0.13μm(微米)的灰尘数目少于10个」,「等级10(Class 10)」每立方英尺的灰尘数目比「等级1(Class 1)」还多,显然「等级10(Class 10)」比较肮脏,通常使用在比较不需要太干净的制程步骤,例如:蚀刻技术、掺杂技术、薄膜成长技术等。    

        理论上晶圆厂愈干净,则晶圆的良率愈高,代表利润愈高;但是要维持晶圆厂的干净程度必须花费庞大的金钱,愈干净代表必须花费愈多的钱,因此,通常在必须很干净的制程步骤才会使用「等级1(Class 1)」,一般使用「等级10(Class 10)」就可以了。不过也有许多晶圆厂为了提高良率,全厂均维持「等级1(Class 1)」